六氟化钨(WF6)是一种强氟化剂，除镍、蒙乃尔合金和不锈钢外，在室温下能使许多金属氟化。在干燥状态时对玻璃的腐蚀较弱，但在湿气中能迅速反应。

六氟化钨是钨氟化物中唯一稳定并被工业化生产的品种，主要用作电子工业中金属钨化学气相沉积工艺的原材料，用它制成的WSi2 可用作大规模集成电路中的配线材料，另外还可以作为半导体电极的原材料、氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。WF6 在非电子方面的应用:可通过CVD 技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨，以改善钢的表面性能，还可用于制造某些钨制部件，如钨管和坩埚等。

世界上WF6生产主要集中在美国和日本，日本拥有世界上最大的WF6生产公司，而世界上最大的高纯WF6生产商则在美国，纯度可以达到99.9999 %，这种超高纯产品的生产能力为40ta 。2005 年全球WF6的总生产能力约为1300ta ，年产量约为1000t。随着世界电子工业的飞速发展,WF6的需求量呈现稳定快速增长的势头。国内还没有产业化的生产企业，只有邯郸净化设备研究所等少数科研单位进行WF6产品的研发，早日实现WF6的国产化有着巨大的经济效益和社会效益。