无色、无臭、无毒、不燃的稳定气体，在常温常压下为气态。六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。