八氟丙烷的制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种八氟丙烷的制备方法，步骤依次包括：（1）氟氢化钾经电解后得到氟气混合气，并依次进行除尘、冷凝、吸附处理，纯化为原料氟气；（2）将所述原料氟气加压后与惰性气体均匀混合得到混合气；（3）将所述混合气通入装有二氟化钴的反应器内反应得到三氧化钴；（4）反应完成后，对所述反应器及相关管路管件进行吹扫及抽真空置换处理；（5）将六氟丙烯通入反应器内与所述三氟化钴反应得到含有杂质的八氟丙烷；（6）对八氟丙烷进行冷却、吸附处理；（7）将八氟丙烷通过压缩机进入精馏塔进行精馏处理。采用本发明，可降低杂质对反应器的腐蚀，抑制六氟丙烯裂解、自聚、加成等不良副反应，制备高纯度的八氟丙烷。

【专利说明】八氟丙烷的制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及化工领域，尤其涉及一种八氟丙烷的制备方法。
【背景技术】
[0002]八氟丙烷，常用作制备半导体器件工艺中的蚀刻或清洗气体。现有关于使用六氟丙烯作为原料直接制备八氟丙烷的方法有多种:
日本专利JP-B-62-61572指出，在六氟丙烯和氟气之间进行直接氟化反应制备八氟丙烷；日本专利JP-B-1-45455指出，在催化剂存在下，使六氟丙烯与氟反应制备八氟丙烷；日本专利JP-B-62-54777指出，将六氟丙烯与高级(High-Order)金属氟化物反应制备八氟丙烷；日本专利JP-B-62-61682指出，在使用惰性气体和反应产物气体稀释的情况下，使六氟丙烯与氟气反应制备八氟丙烷；日本专利JP-B-62-61115指出，在氟化氢中使六氟丙烯电解氟化以制备八氟丙烷。